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无尘车间等级划分
发布时间:2019-03-01        浏览次数:499        返回列表

无尘室的等级说明

使用者在开无尘室的等级给供货商时,有以下几个小技巧。

首先是等级定义的模式如下:

Class X (at Y μm )

其中X是无尘室的等级,例如100或10000等等,Y是粒径如0.2μm , 0.5μm等,可复选。意思就是使用者规定,该无尘室微粒含量,在这些粒径必须满足该等级的限度。这样可以减少纷争,以下是几个例子:

Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm)

Class 100(0.2μm , 0.5μm )

Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm )

Classes 100 (M3.5) and Greater  (Class 100,1000,10000....),一般看一个粒径即可。在Classes Less than 100 (M3.5)  (Class 10,1.... ),一般要看多几个粒径。

第二个技巧是规定无尘室的状态,例如:

Class X (at Y μm ),At-rest

供货商就很清楚知道无尘室要在At-rest状态下验收。

第三个技巧是自订微粒浓度上限,一般在As-built时无尘室都很干净,微粒控制能力测试不易,这时可以干脆把验收上限压低,例如:

Class 10000 (0.3 μm <= 10000),As-built 
Class 10000 (0.5 μm <= 1000),As-built

这样做的目的是确保无尘室在Operational状态时,依然有足够的微粒控制能力。